近两日，在经过连续狂飙行情之后，半导体板块调整暂歇，不过从资金面上看，借道ETF增仓热情仍在持续。

从方向上看，市场资金更青睐聚焦上游设备材料的相关细分领域ETF。以半导体设备ETF（561980）为例，上交所数据显示，该ETF调整状态下昨日获6267万元资金净申购；拉长周期看，半导体设备ETF（561980）连续4日获资金净流入，区间累计净申购额2.38亿元。

9月底以来，市场情绪大幅好转，流动性持续释放，赋予半导体设备板块EPS和PE双击。行业层面看，该板块具备“高景气+强催化”双重属性，板块今年三季度核心标的营收继续保持高增，贯彻“高景气”属性。

近期受海外事件驱动影响，自主可控继续成为板块主旋律。展望后市，国投证券表示，复苏和先进工艺突破继续作用为下游资本开支的两大主线，或可持续关注下游先进工艺良率提升和低国产化率设备突破。

半导体设备ETF（561980）复制跟踪中证半导体产业指数走势，该指数主要聚焦40只半导体设备、材料等上游产业链公司，前十大成分股覆盖北方华创、中微公司、中芯国际、韦尔股份、海光信息、华海清科、拓荆科技、南大光电、沪硅产业、长川科技等公司，合计占比约78%，指数集中度相对较高。

行业分布上，该指数更侧重上游设备、材料等。按照中证指数公司数据，“半导体材料与设备”占比约70%。从产业链角度看，上游的半导体设备和材料国产替代空间广阔，持续受到市场重视和产业政策支持。场外可通过联接基金（A：020464；C：020465）进行关注。